ÚSÁID TIO1.8 SPRIOC ROGHNACH CHUN SCANNÁN DIOXIDE TITANIUM A CHUR ISTEACH

Tá go leor airíonna spéisiúla ag scannáin tanaí dé-ocsaíde tíotáiniam agus baintear úsáid astu in iarratais éagsúla. Tá ard-innéacs athraonta ag TiO2, agus mar sin is féidir an scannán TiO2 a úsáid mar fhótagrafadóir. Tá TiO2 an-chrua agus frithsheasmhach ó thaobh ceimice de agus is féidir é a úsáid mar scannán féin-ghlanadh agus frith-bhaictéarach. Tá tairiseach ard tréleictreach ag TiO2 agus baintear úsáid as i micrileictreonaic. Is féidir é a úsáid freisin i bratuithe bithleighis mar gheall ar bhith-chomhoiriúnacht TiO2.

Cé gur baineadh úsáid as go leor teicníochtaí sil-leagain chun scannáin TiO2 a shintéisiú, is é sputtering maighnéid an modh is fearr le haghaidh bratuithe móra. Tá sé seo mar gheall ar an solúbthacht, an aonfhoirmeacht, éascaíocht an fhairsingithe, agus tréchur ard an phróisis sputtering. Mar sin féin, cuireann an éagobhsaíocht bhunúsach a léirítear leis an éifeacht hysteresis teorainn leis an gcomhdhéanamh indéanta nó laghdaítear go mór an ráta deasctha. Go ginearálta, caithfear rialú lúb dúnta ar an mbrú gáis imoibriúcháin a úsáid chun rátaí sil-leagain ard agus airíonna scannán is fearr a bhaint amach.

Tá modh sputtering ag baint úsáide as an sprioc spraeála TiO1.8 chun scannán TiO2 a thaisceadh. Is é an chúis is mó le sprioc den sórt sin a úsáid ná a seoltacht, rud a fhágann gur féidir sputtering DC a dhéanamh. Mar thoradh ar sprioc TiO1.8 a úsáid baineadh amach ráta sil-leagain i bhfad níos airde i gcomparáid le sil-leagan scannán TiO2 ag baint úsáide as sprioc tíotáiniam miotail íon, agus níor léirigh na torthaí hysteresis chomh maith.

scannán tanaí ocsaíd tíotáiniam

Léirigh múnlú ó sputtering sprice TiOx go bhfuil an ráta ard sil-leagain gaolmhar le láithreacht níos ísle ocsaíd ocsaíde (íseal-ocsaíd) ar an sprioc-dhromchla. Is féidir an chuid is mó de na fo-ocsaídí a choinneáil ar an dromchla gan hysteresis, agus dá bhrí sin ráta ard sil-leagain a bhaint amach. Dá bhrí sin, is féidir a thuar gur féidir méadú breise a fháil ar an ráta sil-leagan trí chóimheas O / T an sprioc a choigeartú. Maidir le cion leordhóthanach ocsaigine sa sprioc, is féidir próiseas sil-leagain saor ó hysteresis a bhaint amach. Is féidir aon sciath TI 2 stoichiometrach a tháirgeadh gan aon ghá le brú páirt-rialaithe. Bhí na scannáin go léir X-ghathaithe éagruthach agus léirigh siad comhluachanna athraonta inchomparáide.

Tá an ráta sil-leagain de TiO2 stoichiometrach ón sprioc ocsaíde thart ar cúig huaire níos airde ná an sprioc miotail atá ag feidhmiú sa mhodh cumaisc. Tá an ráta fáis ó 100% go 65% den sprioc sputtering níos lú ná mar a bhíothas ag súil leis, gan ach thart ar 10% ag méadú. Bíonn tionchar mór ag an atmaisféar iarmharach ar an toradh. Tá sé seo go príomha mar gheall ar an ráta íseal sil-leagain mar gheall ar mhéid na sprice beag agus ar dhlús ísealchumhachta.